Наименование термина
БЕЛ ІОННАЕ АСАДЖЭННЕ
РУС ИОННОЕ ОСАЖДЕНИЕ
ENG ION DEPOSITION
Нормативное определение (1)

Ионное осаждение – специальная модификация процесса физического осаждения из паровой фазы, получаемой нагревом, в котором плазменный или ионный источник используется для ионизации материала наносимых покрытий, а отрицательное смещение, приложенное к подложке, способствует экстракции необходимых ионов из плазмы.

(Национальный реестр правовых актов Республики Беларусь, 2008 г., № 42, 8/17945 (опубликован - 22 февраля 2008 г.)

Ассоциативные связи